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MEMSresonator相关论文
基于Fourier-Mellin变换和相位相关的MEMS旋转角度的测量
MEMS器件微结构的运动特性影响器件的性能和可靠性。为实现微结构周期运动过程中各个时刻的旋转角度的测量,提出一种基于傅里叶梅......
期刊
MEMS谐振器
旋转角度
相位相关
傅里叶梅林变换
MEMS resonator
rotation angle
phase correlation
Fourie
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